情報電子オプティクスコース・電気電子分野
高繰り返し高出力レーザーを開発(自作)し,レーザー生成プラズマEUV光源や新しい光計測技術を駆使して,先端半導体分野や医用生体工学分野の研究を進めています.本研究室では,企業や大学・研究所との共同研究を積極的に行っています.
半導体製造の“大問題”解決なるか 「EUV露光装置」の変換効率が2倍に【橋本幸治の理系通信】(2023年10月3日)
当研究室も公開しますので,ぜひお越し下さい.
[体験企画] 未来の半導体や医療のためのレーザーに触れてみよう
レーザーは強い光です.これはみなさんのスマホ,半導体や医療分野に使うことができるものです.強いレーザーで半導体向けのX線を発生させたり,光ファイバーでレーザーを作ったりできます.実験室で,実際にレーザー装置を動かしてみましょう.
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