情報電子オプティクスコース・電気電子分野
高繰り返し高出力レーザーを開発(自作)し,レーザー生成プラズマEUV光源や新しい光計測技術を駆使して,先端半導体分野や医用生体工学分野の研究を進めています.本研究室では,企業や大学・研究所との共同研究を積極的に行っています.
半導体製造の“大問題”解決なるか 「EUV露光装置」の変換効率が2倍に【橋本幸治の理系通信】(2023年10月3日)
「影のない画像」でアミロイドーシスを鮮明に診断!
イメージング法では偏光シャドウのない精確な観察像が得られます.アミロイドーシスの早期発見に貢献する技術となることが期待されます.
宇都宮大学ら、EUV光源の高効率化を目指すマルチレーザー照射法を開発!✨🔬|半導体Times
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